上海艾森纳成为国内首台浸没式DUV芯片制造工具制造商

路透社报道，上海艾森纳电子技术集团被确认为生产中国第一台国内浸没式深紫外光刻（DUV）扫描仪的国有企业。该公司成立于2023年8月，注册资金70亿元人民币，并被认为吸收了来自上海裕良升科技和上海微电子装备公司的工程团队。艾森纳的一位匿名消息源透露了这一信息，但其股东SMEE和裕良升未回应评论请求。中芯国际自2025年9月以来一直在测试一款裕良升的浸没式工具，并计划向中芯国际、华虹半导体以及长鑫存储科技公司交付首批设备。此外，预计到2038年中国将完成第一台具有7纳米生产能力的国内浸没式DUV扫描仪。